业跟进，一旦说光刻胶不行，那有极紫外光和电路设计图也没用。

“总裁说得没错。”林天也给予了肯定，他回头看向两位局长道：“现在说3纳米芯片还为时过早，不过我们可以先试试这13.5纳米波长的极紫外光，看看它能不能满足芯片生产需求。”

下一秒。

雷兵和夏扬点了点头。

他们属于是懂一点，但并不知道半导体芯片领域可不仅仅只有极紫外光，还有n多的细枝末节，只有全部攻克才能造出芯片。

自动取片。

雷兵也忍不住上前一步，询问道：“这束光能用吗？如果能用是不是意味着我们能造3纳米芯片了？”

林天在检验了十几束13.5纳米波长的极紫外光后，也发现了单色性最好的一条光束，将它设定为1号光刻区域。

第一期相当于测试，等测试通过就可以扩建二期、三期甚至是第四期的光刻工厂。

岂不是能刻3纳米芯片？

“确实是我们操之过急了。”

“我马上操作。”

要是真能造3纳米芯片，那可不是小小的科技震撼，而是向整个半导体芯片行业扔了个蘑菇弹，要颠覆整个行业的事情了。

林天喃喃自语。

“趁着天没亮，我们尽快测试光束的可行性吧。”陈星提醒一句。

“我们没有单独完整的soc上帝芯片光掩膜版，只能用两块阴阳掩膜版堆叠在一块形成完整图案，这又会出现个问题。”

林天点了点头回应道。

存放在特定区域的半导体硅片被静电吸盘吸起，运送到清洗区域，洗掉附着在半导体硅片表面的灰尘和杂质。

自动光刻。

像似给陈星几人解释，又像似说给自己听。

当然了。

前提是可以能光刻成功。

“这句话在理。”

自动清洗。

两块光掩膜版已经重叠，他们在特定

这也是为什么第一期的光刻工厂只有5000平的原因，因为建造太大也没用，像静电吸盘和各类自动化运输的设备，都是需要定制化购买的，关键有些设备国内还没有，比如静电吸盘设备。

在半导体领域，可不仅仅光刻机和紫外光有纳米等级，光刻胶同样有纳米等级区分。

又经过了十分钟的参数调试，排除外故障情况，林天输入了确定工作的指令。

自动涂胶。

他们现在可是关了全深城的电力供应，哪怕是凌晨4点钟，但依然会对城市造成影响。

在

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